ICP炬形成原理

■ ICP炬形成原理 ■

ICP光源主要由高频发射器、等离子体炬管、感应管、供气系统和雾化系统组成。高频发射器的作用是产生高频电流。ICP炬管是由三层同心石英管组成。外层石英管内切向通入的Ar气为等离子体工作气或冷却气。中间层石英管内通入的Ar气为辅助气。内管又称喷管，以Ar气为载气，将试样气溶胶引入到ICP炬中。ICP炬实际上是ICP放电现象。